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  • 產(chǎn)品描述
    • 商品名稱(chēng): 真空回轉(zhuǎn)爐

    應(yīng)用領(lǐng)域：CVD氣相包覆

    工藝特點(diǎn)：初始真空度8-10Pa,氧含量不高于50PPM， 連續(xù)進(jìn)出料，有機(jī)氣體裂解碳源與硅料形 成包覆；節(jié)省氮?dú)馐褂昧?5%，能耗降低  30%。

    型 號(hào)

    裝料尺寸

    產(chǎn)能

    工作溫度

    極限溫度

    真空度

    總功率

    氣氛類(lèi)別

    工藝時(shí)長(zhǎng)

    設(shè)備重量

    MGB90-2300HH1

    Φ 1200 * 23000

    100Kg/h

    950℃

    1050℃

    8-10Pa

    580KW

    Ar/N2

    4H

    30T

關(guān)鍵詞：

產(chǎn)品咨詢(xún)

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